硫化锌基底8～12μm红外增透膜的研究

摘要

为了提高硫化锌基底的透过率和膜层的机械强度,对硫化锌基底上的红外宽带减反射膜的设计和制备工艺进行了研究.经过实验,选取镀膜材料,优化沉积工艺参数以及采用离子束辅助沉积技术,研制出膜层附着力好.光学性能稳定的红外增透膜.最后,对制备的增透膜进行环境实验,各项指标均满足设计要求.