以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜

摘要

本发明公开了一种以锗为基底的具有太阳光反射功能的长波红外增透膜，该增透膜镀制在以Ge为基体材料的光学透镜上，光线垂直入射。膜系设计采用前截止滤光片为基本结构，采用非对称等效层获得与基底折射率的匹配。以ZnS和YF3作为主膜系的高低折射率材料，ZnS和Ge作为等效层材料。在制备过程中采用了离子源辅助、合适的基底温度等特定工艺。该增透膜能将可见光及近红外波段的太阳辐照尽可能反射掉，而将长波红外辐射尽可能透射。本发明具有太阳光反射功能的长波红外增透膜性能稳定，适合于中高轨道应用的小型长寿命光学敏感器的太阳防护窗使用，也可用作多光谱红外相机的分色片。