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Si6团簇与Si(111)表面碰撞的分子动力学模拟

         

摘要

利用紧束缚分子动力学方法模拟研究了Si6团簇与Si(111)表面碰撞的微观过程.结果表明:Si6团簇在表面再构并吸附的能量阈值为10 eV,损伤域能为60 eV.通过对碰撞结果的讨论得到了改变轰击能量可以控制外延生长的结构的结论.

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