钢注入Ti+离子束的真空碳化和微观结构的变化

摘要

Ｔｉ＾＋（１００ｋｅｖ，３×１０＾１７ｃｍ＾－２）注入Ｈ１３钢，表面注入层的化学组成和微观结构发生了很大的变化，俄歇分析表明，注入元素Ｔｉ在钢表面层的剖面含量分布呈近似高斯分布，在４０ｎｍ处原子数分数达到其峰值（２５％），离子束真空碳化导致在钢的表面形成一层约２０ｎｍ的“渗碳层”。透射电镜分析表明，表面层的微观形貌由注入前的板条状马氏体结构转变成注入后的微胞状结构，电子衍射则进一步证实，表面层已聘