钛合金微弧氧化膜微晶生长特性的研究

摘要

在Na2CO3-NaOH溶液中,采用自制多功能单极性脉冲微弧氧化电源在TC4钛合金上制备了TiO2薄膜.利用XRD和SEM分别对氧化膜的相组成和表面形貌进行了分析.结果表明,在脉冲频率和电流密度分别固定为5000Hz和20A/dm2时,氧化膜主要含锐钛矿和金红石相TiO2,随着处理时间的延长,金红石TiO2的相对含量逐渐增加;氧化膜呈多孔结构,表面布满了尺寸在300nm～1μm之间的TiO2颗粒,随着处理时间的延长,这些颗粒微孔的尺寸明显变大,其密度逐渐减小.