940nm VCSEL高折射率对比度亚波长光栅反射镜的设计

摘要

研究了一种940 nm GaAs基VCSEL的高折射率对比度亚波长光栅反射镜(HCG),采用GaAs/AlOx光栅结构,讨论了TE偏振时光栅结构中各参数对反射光谱的作用规律,分析TE、TM不同偏振时反射镜的结构特点,及形貌误差对高反射带的影响.设计的TE-HCG的高反射带中心为940 nm,在0.888～0.985μm波长范围内,TE波反射率大于99.5％,TM波反射率低于90％,高反射带宽97 nm,Δλ/λ0>10％.该反射镜可以与VCSEL采用一次性外延生长技术制作,且具有结构简单,制作容差大,且偏振稳定的优势,不仅有利于改善器件性能,且大大降低VCSEL的制作难度和成本.