CIGS吸收层沉积在线监控方式的研究现状与展望

摘要

在线监控系统可以对过程进行控制、诊断、优化和数据记录,无论在实验室还是工业生产上,都是不可缺少的工具.尤其在Cu(In,Ga)Se2 (CIGS)太阳电池的应用中,在线监控显得非常重要,目前仍然是CIGS太阳电池领域研究的焦点.本文分别对应用于共蒸发CIGS主要的在线监控系统的工作原理、研究现状进行了介绍,并详细讨论了各自的优点和局限性.