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非晶硅磷掺杂效率分析的新方法

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介绍一种分析ａ－Ｓｉ掺杂效率的新方法．该法能够很好地解决ａ－Ｓｉ全掺杂范围内掺杂浓度和掺杂效率的计算问题，简便易行，为ａ－Ｓｉ掺杂性能研究和器件设计制造提供可靠的掺杂浓度和掺杂效率值．

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来源
《湖南大学学报：自然科学版》 |1996年第2期|22-24|共3页
作者
曾云; 颜永红; 曾健平;
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作者单位

湖南大学应用物理系;

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正文语种 chi
中图分类半导体统计学;
关键词
非晶硅; 掺杂效率; 磷;

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