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电极材料对BST薄膜介电性能的影响

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摘要

BST薄膜是微电子器件领域很有吸引力的介质材料.就BST薄膜研究中电极材料选择这一焦点问题进行综述,包括电极材料的种类,电极对薄膜微观结构、介电参数及稳定性等方面的影响,分析与电极相关的薄膜缺陷和可靠性现象,并对未来的发展作简要的描述.

著录项

来源
《湖北大学学报（自然科学版）》 |2003年第3期|219-223|共5页
作者
张柏顺; 章天金; 江娟; 刘江华;
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作者单位

湖北大学,物理学和电子技术学院,湖北,武汉,430062;

湖北大学,物理学和电子技术学院,湖北,武汉,430062;

湖北大学,物理学和电子技术学院,湖北,武汉,430062;

湖北大学,物理学和电子技术学院,湖北,武汉,430062;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
BST薄膜; 电极材料; 介电性能; 氧空位; 可靠性;

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