V含量对Ti-Al-V-N复合膜摩擦磨损性能的影响

摘要

为研究V元素对Ti-Al-V-N复合膜摩擦磨损性能的影响、制备性能更为优异的薄膜,采用真空磁控溅射方法制备了不同V含量的Ti-Al-V-N复合膜,研究了在室温25℃及高温650℃时,不同V含量的Ti-Al-V-N复合膜的摩擦磨损性能.结果 表明:在室温25℃时,当V的物质的量分数达到17.0％时,平均摩擦系数最小,为0.39,具有低摩擦系数的原因一是添加了V元素后复合膜硬度发生了显著的改变,二是摩擦磨损过程中TiO2的生成量减少了;在高温650℃时,发现当V的物质的量分数达到26.7％时,平均摩擦系数最小,为0.22,认为拥有低摩擦系数的主要原因是在高温摩擦磨损实验过程中生成了具有自润滑性能的V2O5.