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微机电系统技术进展

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摘要

概述了微机电系统(MEMS)的发展史,综述了微机电系统(MEMS)领域所涉及的微材料、微机械设计和模拟、微细加工技术,微封装和测试等关键技术的研究现状.从微构件、微传感器、微执行器和专用MEMS集成系统等4方面的典型器件和典型系统,介绍了微机电系统在当今社会各个领域的广泛应用.

著录项

来源
《河北工业大学学报》 |2003年第5期|104-109|共6页
作者
张西慧; 梁春广;
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作者单位

河北工业大学,化工学院,天津,300130;

信息产业部十三所,河北,石家庄,050051;

信息产业部十三所,河北,石家庄,050051;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类应用;
关键词
微机电系统; 发展史; 微制造技术; 微执行器; 微传感器;

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