〈100〉方向单晶硅的生长技术

摘要

〈100〉单晶硅广泛用途越来越受到人们的重视,它是 MOS 集成电路的基片。文中讨论了〈100〉方向单晶硅生长中经常出现的几个问题,提出了它的热系统设计和操作工艺,解决了〈100〉单晶硅成晶率低,位错多等问题,提高了产品质量,器件使用效果良好。