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离子束增强沉积氧化钒薄膜的温度系数

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用离子束增强沉积法从五氧化钒直接制备二氧化钒薄膜.750℃氮气退火后,薄膜的热电阻温度系数高达4.07%.高剂量的氢、氩混合束的注入使薄膜中的氧缺位较少,并在薄膜中引入了应力,使薄膜的温度-电阻曲线的斜率变大,可能是TCR增大的原因.

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来源
《哈尔滨理工大学学报》 |2003年第5期|1-2|共2页
作者
李金华; 袁宁一; 陈汉松;
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作者单位

江苏工业学院,信息科学系,功能材料实验室,江苏,常州,213016;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,离子束开放实验室,上海,200050;

江苏工业学院,信息科学系,功能材料实验室,江苏,常州,213016;

中国科学院上海微系统与信息技术研究所,离子束开放实验室,上海,200050;

江苏工业学院,信息科学系,功能材料实验室,江苏,常州,213016;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类薄膜物理学;
关键词
氧化钒薄膜; 离子束增强沉积; 热电阻温度系数;

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