用于电容传感器的谐振检测技术

摘要

介绍了用于电容传感器测量小电容的谐检测技术。这一技术提供了较高的测量分辨率。当被测电容在几个到１０几个ＰＦ时，其测量分辨率优于１．５Ｆ。杂散电容可自动补偿。文中介绍了这一技术，并报告了实验结果。