PBII固体润滑膜的结构及真空摩擦性能

摘要

利用PBII技术制备了TiN/DLC和TiN/Ag固体润滑膜,研究了膜层的成分结构及真空条件下的摩擦性能.结果表明:PBII有效地实现了表层润滑膜与基体之间成分和结构的过渡;真空条件下,接触面光滑(Ra＜0.1 am)的DLC与Ag之间的摩擦系数为0.09左右,DLC膜之间的摩擦系数也在0.09附近,且TiN/DLC润滑膜互为摩擦副的耐磨性能高于TiN/DLC和TiN/Ag润滑膜的配对;接触面较为粗糙(Ra＞0.8 μam)的摩擦副分别配以TiN/DLC和TiN/Ag润滑膜,可获得良好的真空运转寿命.