DLC膜

摘要： 为了提高打桩机用GCr15钢的摩擦学性能,采用磁控溅射在其表面制备了一层掺Cr的DLC膜,对比了该膜层处于不同工况下的微观组织和摩擦学特性。结果表明:DLC膜的表面区域出现了许多球形颗粒,DLC膜的组织形态较为均匀,表面粗糙度接近9 nm。DLC膜形成了单一衍射峰,表明DLC膜属于一种非晶态组织。对DLC膜进行纳米压痕测试形成了光滑过渡的载荷变化曲线,推断制备得到的DLC膜由均匀组织构成。以NaCl溶液作为润滑介质时测试得到的摩擦系数为0.079,得到了较为稳定的曲线。NaCl溶液可以对摩擦配副的接触面产生良好的减摩作用。与不含DLC膜的GCr15/GCr15配副相比,DLC/GCr15配副有更小的摩擦系数,表明DLC膜能够对GCr15钢起到良好的减摩效果。接触压力由1.00 MPa提高到3.60 MPa时,摩擦系数下降;随着接触压力的进一步提高,摩擦升温会加速DLC膜的石墨化进程,使得摩擦系数发生一定程度的增加。

摘要： 为获得膜基结合力更高的刀具,选择Al/Cr金属作为过渡层,分析了不同溅射电流下Al/Cr-DLC膜的组织和力学性能,膜厚都在1.50~1.70μm左右。结果显示:随着溅射电流增加,过渡层厚度变化不明显;增大溅射电流后,膜层中的Cr、Al比例也随之增加,过渡层可以促进元素更快扩散;各膜层拉曼光谱都在1000~2000 cm^(-1)区间形成了非晶碳的非对称峰。随着溅射电流的增大,Cr、Al元素在膜中的含量也明显提高。增大溅射电流后,膜层中形成了更高比例的Al和Cr,而I_(D)/I_(G)的比值先增大再减小,最大比值出现于3.0 A电流下。逐渐增大溅射电流的过程中,残余应力先减小再升高,最低残余应力出现于溅射电流为3.0 A下。当膜层中存在过渡层时,内应力发生了显著降低。当溅射电流由1.0A升高至3.0 A时,膜层的硬度和弹性模量都出现了降低。

摘要： 为提高特种机械零件的耐磨性和耐腐蚀性,采用过滤阴极真空电弧技术在其表面沉积了一层厚度约为2μm的类金刚石碳(DLC)膜.利用扫描电子显微镜(SEM)、纳米压痕仪、摩擦磨损试验机和电化学工作站分别测试了CrNi3MoVA钢与施加DLC膜的CrNi3MoVA钢(以下简称DLC膜)的微观结构、纳米力学性能、摩擦磨损性能及耐腐蚀性.结果表明DLC膜的硬度较裸钢提高了65％,弹性模量降低了约32％;裸钢稳定的摩擦系数为0.65～0.75,而DLC膜稳定的摩擦系数仅为0.10～0.11;裸钢的磨损机制主要为磨粒磨损和塑性流动,而DLC膜的磨损机制主要为剥层磨损;DLC膜的腐蚀电流密度较裸钢的腐蚀电流密度低了两个数量级,自腐蚀电位正移了逾0.3 V,电化学反应阻抗高了3个数量级.DLC膜能够极大地提高裸钢的耐磨性和耐腐蚀性.

摘要： 近年来,高硬度、低摩擦、高耐磨性的类金刚石(Diamond like carbon,DLC)膜引起了国内外学术界和工业界极大的研究兴趣,尤其是它的超低摩擦行为.首先从宏观和微观角度分析了DLC膜超低摩擦的起源,研究发现DLC膜的微观结构和测试环境是影响DLC膜实现超低摩擦的主要因素,而DLC膜的微观结构由其制备工艺决定.然后系统讨论了制备工艺(包括制备方法、反应气源、掺杂元素和基体材料等)和测试环境(包括真空与干燥惰性气体环境、潮湿环境、高温环境、载荷和滑动速度等)对DLC膜超低摩擦行为的影响规律.最后归纳分析了目前对DLC膜超低摩擦机理的几种解释,指出DLC膜作为超低摩擦材料仍需解决的问题及未来的研究趋势.

摘要： A.期刊论文[序号]作者.题名[J/OL].刊名.出版年份.卷好（期号）;引文页码[引用日期]获取和访问路径[1]张旭,张通和,易仲珍,等,采用磁过滤MEVVA制备DLC膜的研究[J].北京师范大学学报：自然科学版2002．38（4）：478-481．

摘要： 采用磁控溅射法,在304不锈钢上制备Cr/WC/DLC多层梯度过渡类金刚石薄膜,利用场发射扫描电子显微镜(SEM)、拉曼光谱仪(Raman)、纳米压痕仪、划痕测试仪等分析薄膜的微观结构和力学性能,利用UMT-3多功能摩擦磨损试验机考察其在大气、去离子水、发动机油3种环境下的摩擦学性能.结果表明:该薄膜的多层梯度设计使其膜基间结合力得到了有效改善,且硬度高达32.6 GPa,在3种环境下均具有优异的摩擦学性能.在大气环境下,薄膜具有较低的平均摩擦因数,为0.094;但具有3种环境下最大的磨损率,为7.86×10-8 mm3(N·m)-1;在去离子水环境下,薄膜的平均摩擦因数较高,为0.124;而其磨损率较低,为5.26×10-8 mm3(N·m)-1;在发动机油环境下,固-油复合润滑效应使薄膜具有更加优异的摩擦学性能,其平均摩擦因数和磨损率均为3种环境下的最小值,分别为0.065和4.44×10-8 mm3(N·m)-1.

摘要： 采用投样试验的方法，对未镀膜和镀DLC膜Ge窗口在西双版纳热带雨林环境进行试验，通过对未镀膜和镀膜Ge窗口在热带雨林环境腐蚀速率和表面形貌进行观察、分析和研究，得到热带雨林环境对未镀膜和镀DLC膜Ge窗口的腐蚀特性，对腐蚀机理进行了初步分析。%In this paper, the method of sample test vote on uncoated and coated DLC film germanium window in tropical rainforest environment to test, through the uncoated and coated DLC film germanium window in the tropical rainforest environment corrosion rate and surface morphology were observed, analysis and research, get rainforest environment on corrosion properties of uncoated and coated germanium window, on a preliminary analysis of the corrosion mechanism.

摘要： 在8～12μm红外范围内Ge基底上设计和制备的一面宽带减反膜和一面介质＋DLC膜。薄膜材料Ge、ZnS和YF3由电子束沉积法制得，DLC膜由PEVCD制得。阐述了利用非均匀膜理论设计红外减反射薄膜的方法，所设计的红外减反射膜膜系优化结果较为理想。经过研究分析我们选择了氟化钇来进行此项研究并加以RF源（射频源）辅助镀膜，并用计算机修正来矫正真空镀膜法生产宽带增透膜时实验值与理论值存在的偏差。取得了良好的效果。用沈科仪镀膜机采用PECVD镀制DLC膜方面的也有很好的效果。

摘要： 摘要：降低锗基底上镀DLC膜单面反射率，对提高光学系统的成像质量有很大的好处。本文就降低锗基底上镀DLC膜单面反射率做出研究和探讨，分析技术难点，进行技术攻关，设计出相应的膜系，最终达到减低单面反射率的目的。

摘要： 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在UHMWPE表面制备DLC膜，用激光拉曼(Raman)光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)分析了DLC膜的形貌及结构特征，球压硬度法测定了DLC膜球压硬度，并在UMT-Ⅱ型摩擦磨损试验机上评价了DLC膜在牛血清溶液润滑条件下的摩擦磨损性能。结果表明，UHMWPE表面制备的DLC膜具有典型类金刚石薄膜的Raman光谱特征，属含氢a-C：H膜。表面沉积DLC膜可有效提高UHMWPE的表面硬度，改善表面润湿性能。25％牛血清润滑条件下，DLC膜UHMWPE的摩擦系数因表面粗糙度的增大而有所升高，但磨损率则有明显下降。UHMWPE磨损表面存在严重的犁削磨损和塑性变形，DLC膜磨损表面主要以剥层磨损为主。

摘要： 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在UHMWPE表面制备DLC膜，用激光拉曼(Raman)光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)分析了DLC膜的形貌及结构特征，球压硬度法测定了DLC膜球压硬度，并在UMT-Ⅱ型摩擦磨损试验机上评价了DLC膜在牛血清溶液润滑条件下的摩擦磨损性能。结果表明，UHMWPE表面制备的DLC膜具有典型类金刚石薄膜的Raman光谱特征，属含氢a-C：H膜。表面沉积DLC膜可有效提高UHMWPE的表面硬度，改善表面润湿性能。25％牛血清润滑条件下，DLC膜UHMWPE的摩擦系数因表面粗糙度的增大而有所升高，但磨损率则有明显下降。UHMWPE磨损表面存在严重的犁削磨损和塑性变形，DLC膜磨损表面主要以剥层磨损为主。

摘要： 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在UHMWPE表面制备DLC膜，用激光拉曼(Raman)光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)分析了DLC膜的形貌及结构特征，球压硬度法测定了DLC膜球压硬度，并在UMT-Ⅱ型摩擦磨损试验机上评价了DLC膜在牛血清溶液润滑条件下的摩擦磨损性能。结果表明，UHMWPE表面制备的DLC膜具有典型类金刚石薄膜的Raman光谱特征，属含氢a-C：H膜。表面沉积DLC膜可有效提高UHMWPE的表面硬度，改善表面润湿性能。25％牛血清润滑条件下，DLC膜UHMWPE的摩擦系数因表面粗糙度的增大而有所升高，但磨损率则有明显下降。UHMWPE磨损表面存在严重的犁削磨损和塑性变形，DLC膜磨损表面主要以剥层磨损为主。

摘要： 利用射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术在UHMWPE表面制备DLC膜，用激光拉曼(Raman)光谱仪和扫描电子显微镜(SEM)分析了DLC膜的形貌及结构特征，球压硬度法测定了DLC膜球压硬度，并在UMT-Ⅱ型摩擦磨损试验机上评价了DLC膜在牛血清溶液润滑条件下的摩擦磨损性能。结果表明，UHMWPE表面制备的DLC膜具有典型类金刚石薄膜的Raman光谱特征，属含氢a-C：H膜。表面沉积DLC膜可有效提高UHMWPE的表面硬度，改善表面润湿性能。25％牛血清润滑条件下，DLC膜UHMWPE的摩擦系数因表面粗糙度的增大而有所升高，但磨损率则有明显下降。UHMWPE磨损表面存在严重的犁削磨损和塑性变形，DLC膜磨损表面主要以剥层磨损为主。

摘要： 微成形技术具有低成本、适合批量制造等优点，在微纳制造领域有着广阔的应用前景，随着构件尺寸的减小，其比表面积迅速增大，摩擦对成形的影响显著增大，本文针对箔板微成形中的摩擦与润滑问题，设计了U型拉深试验方案，简化坯料的受力状态，便于研究润滑条件对拉深工艺的影响，使用微型试验机，在无润滑、机油润滑以及DLC膜表面改性等条件下开展试验，获得不同润滑条件下的成形载荷、成形件几何尺寸精度以及表面质量等。结果表明，DLC膜表面改性能够显著降低成形载荷，且不受成形速度等条件的影响;DLC膜表面改性条件下成形件回弹量略有增加;DLC膜表面改性时成形件表面质量好于无润滑时的表面质量，但不及机油润滑时的表面质量。综上所述，DLC膜表面改性在降低摩擦力方面有显著作用，能够满足微成形的需要。

摘要： 微成形技术具有低成本、适合批量制造等优点，在微纳制造领域有着广阔的应用前景，随着构件尺寸的减小，其比表面积迅速增大，摩擦对成形的影响显著增大，本文针对箔板微成形中的摩擦与润滑问题，设计了U型拉深试验方案，简化坯料的受力状态，便于研究润滑条件对拉深工艺的影响，使用微型试验机，在无润滑、机油润滑以及DLC膜表面改性等条件下开展试验，获得不同润滑条件下的成形载荷、成形件几何尺寸精度以及表面质量等。结果表明，DLC膜表面改性能够显著降低成形载荷，且不受成形速度等条件的影响;DLC膜表面改性条件下成形件回弹量略有增加;DLC膜表面改性时成形件表面质量好于无润滑时的表面质量，但不及机油润滑时的表面质量。综上所述，DLC膜表面改性在降低摩擦力方面有显著作用，能够满足微成形的需要。

摘要： 微成形技术具有低成本、适合批量制造等优点，在微纳制造领域有着广阔的应用前景，随着构件尺寸的减小，其比表面积迅速增大，摩擦对成形的影响显著增大，本文针对箔板微成形中的摩擦与润滑问题，设计了U型拉深试验方案，简化坯料的受力状态，便于研究润滑条件对拉深工艺的影响，使用微型试验机，在无润滑、机油润滑以及DLC膜表面改性等条件下开展试验，获得不同润滑条件下的成形载荷、成形件几何尺寸精度以及表面质量等。结果表明，DLC膜表面改性能够显著降低成形载荷，且不受成形速度等条件的影响;DLC膜表面改性条件下成形件回弹量略有增加;DLC膜表面改性时成形件表面质量好于无润滑时的表面质量，但不及机油润滑时的表面质量。综上所述，DLC膜表面改性在降低摩擦力方面有显著作用，能够满足微成形的需要。

摘要： 微成形技术具有低成本、适合批量制造等优点，在微纳制造领域有着广阔的应用前景，随着构件尺寸的减小，其比表面积迅速增大，摩擦对成形的影响显著增大，本文针对箔板微成形中的摩擦与润滑问题，设计了U型拉深试验方案，简化坯料的受力状态，便于研究润滑条件对拉深工艺的影响，使用微型试验机，在无润滑、机油润滑以及DLC膜表面改性等条件下开展试验，获得不同润滑条件下的成形载荷、成形件几何尺寸精度以及表面质量等。结果表明，DLC膜表面改性能够显著降低成形载荷，且不受成形速度等条件的影响;DLC膜表面改性条件下成形件回弹量略有增加;DLC膜表面改性时成形件表面质量好于无润滑时的表面质量，但不及机油润滑时的表面质量。综上所述，DLC膜表面改性在降低摩擦力方面有显著作用，能够满足微成形的需要。

摘要： 微成形技术具有低成本、适合批量制造等优点，在微纳制造领域有着广阔的应用前景，随着构件尺寸的减小，其比表面积迅速增大，摩擦对成形的影响显著增大，本文针对箔板微成形中的摩擦与润滑问题，设计了U型拉深试验方案，简化坯料的受力状态，便于研究润滑条件对拉深工艺的影响，使用微型试验机，在无润滑、机油润滑以及DLC膜表面改性等条件下开展试验，获得不同润滑条件下的成形载荷、成形件几何尺寸精度以及表面质量等。结果表明，DLC膜表面改性能够显著降低成形载荷，且不受成形速度等条件的影响;DLC膜表面改性条件下成形件回弹量略有增加;DLC膜表面改性时成形件表面质量好于无润滑时的表面质量，但不及机油润滑时的表面质量。综上所述，DLC膜表面改性在降低摩擦力方面有显著作用，能够满足微成形的需要。

摘要： 主要针对类金刚石膜存在的内应力大、热稳定性差等缺点，通过反应磁控溅射技术制备了掺杂Ti，Zr金属元素的DLC薄膜，将掺杂Ti，Zr金属元素的DLC薄膜与未掺杂DLC薄膜进行了比较，结果表明掺杂金属的DLC膜能够明显降低薄膜内应力，提高薄膜热稳定性，对于含氢DLC膜，金属的掺杂还提高了薄膜的硬度，但掺杂后的摩擦系数变大。

摘要： 一种中间层形成方法，其为通过PVD法来形成中间层的中间层形成方法，所述中间层形成在基材与DLC膜之间，其具有在基材上形成Ti层的Ti层成膜工序、和在Ti层上形成TiC层的TiC层成膜工序，Ti层成膜工序中，向装载基材的腔室内供给Ar气体，以成膜压力为0.4Pa以上且1Pa以下的范围内的压力形成Ti层，TiC层成膜工序中，向前述腔室内供给Ar气体和CH4气体，以成膜压力为0.2Pa以上且不足0.4Pa的范围内的压力，对基材施加偏置电压比Ti层成膜工序中施加于基材的第一偏置电压高、且偏置电压高于‑100V的第二偏置电压，从而形成TiC层。

摘要： 本发明涉及一种用于形成基本不含氢的DLC层的方法，其中将厚度约为1-100纳米的DLC层沉积在样品基底或场致发射体阵列的整个表面上，随后将其暴露在含氟气体的蚀刻等离子体中，其中在后一步骤中，含在基底中的氢通过与氟的化学蚀刻反应而被去除，其中重复形成该不含氢的DLC层的步骤，以得到预定厚度的DLC膜。

摘要： 本发明提供一种在低温环境下仍具有良好密着性的DLC膜及能形成该DLC膜的DLC膜形成方法。此外，提供一种初期相容性良好的DLC膜及能形成该DLC膜的DLC膜形成方法。在本发明中，与外离合器板(15)的基材(30)中的内离合器板相对的第1相对面(31)由DLC膜(26)覆盖。此外，基材(30)的表层部形成有处理层(33)。处理层(33)通过将直流脉冲电压施加在基材(30)上、在含有氩气及氢气的环境中生成等离子体来形成。

摘要： 一种塑料容器涂有DLC膜作为所需隔氧体，从而适合于装有对氧敏感的或碳酸化饮料。涂布装置包括置于塑料容器(5)外侧的外电极装置、置于塑料容器(5)内侧的内电极(11)、向已排气的塑料容器(5)供应碳源的原料气的导管(12)、和在向所述容器供应碳源气后用于在所述外电极装置和所述内电极(11)之间施加电压的高频振荡器(9)，从而产生等离子体在所述塑料容器的内表面上形成DLC膜。所述外电极装置包括沿塑料容器(5)的底部设置的底部电极(4)和沿塑料容器的内壁设置的壳体电极(3)，所述底部电极(4)位于塑料容器(5)全部高度一半以下。

摘要： 一种中间层形成方法，其为通过PVD法来形成中间层的中间层形成方法，所述中间层形成在基材与DLC膜之间，其具有在基材上形成Ti层的Ti层成膜工序、和在Ti层上形成TiC层的TiC层成膜工序，Ti层成膜工序中，向装载基材的腔室内供给Ar气体，以成膜压力为0.4Pa以上且1Pa以下的范围内的压力形成Ti层，TiC层成膜工序中，向前述腔室内供给Ar气体和CH4气体，以成膜压力为0.2Pa以上且不足0.4Pa的范围内的压力，对基材施加偏置电压比Ti层成膜工序中施加于基材的第一偏置电压高、且偏置电压高于-100V的第二偏置电压，从而形成TiC层。

摘要： 本发明涉及一种用于形成基本不含氢的DLC层的方法，其中将厚度约为1-100纳米的DLC层沉积在样品基底或场致发射体阵列的整个表面上，随后将其暴露在含氟气体的蚀刻等离子体中，其中在后一步骤中，含在基底中的氢通过与氟的化学蚀刻反应而被去除，其中重复形成该不含氢的DLC层的步骤，以得到预定厚度的DLC膜。

摘要： 本发明涉及一种精确控制DLC膜层厚度的DLC膜层制备方法，包括以下步骤：（1）对耐磨零部件进行多道清洗；（2）将清洗后的耐磨零部件放在N

摘要： 本发明提供一种在低温环境下仍具有良好密着性的DLC膜及能形成该DLC膜的DLC膜形成方法。此外，提供一种初期相容性良好的DLC膜及能形成该DLC膜的DLC膜形成方法。在本发明中，与外离合器板(15)的基材(30)中的内离合器板相对的第1相对面(31)由DLC膜(26)覆盖。此外，基材(30)的表层部形成有处理层(33)。处理层(33)通过将直流脉冲电压施加在基材(30)上、在含有氩气及氢气的环境中生成等离子体来形成。

摘要： 一种制造装置和制造方法，其通过将一个高频电容耦合型放电系统与一个微波放电系统组合，能在一容器的外壁表面和内壁表面上形成一DLC膜；所述制造装置(100)能够在容器(1)的外壁面或者内壁面上形成一DLC膜，其特征在于，它设有：一个用于容置塑料容器(1)的接地的真空室(2)；一个高频偏压电极(4)，其通过一个绝缘本体(3)被设置在真空室(4)内，其与塑料容器(1)的内壁面接触或者接近该内壁面；一个微波供应装置(10)，其通过将微波导入真空室(2)内而在真空室(2)内产生一种源气体等离子体；一个高频输出供应装置(13)，其被连接到高频偏压电极(4)上。

摘要： 一种塑料容器涂有DLC膜作为所需隔氧体,从而适合于装有对氧敏感的或碳酸化饮料。涂布装置包括置于塑料容器(5)外侧的外电极装置、置于塑料容器(5)内侧的内电极(11)、向已排气的塑料容器(5)供应碳源的原料气的导管(12)、和在向所述容器供应碳源气后用于在所述外电极装置和所述内电极(11)之间施加电压的高频振荡器(9),从而产生等离子体在所述塑料容器的内表面上形成DLC膜。所述外电极装置包括沿塑料容器(5)的底部设置的底部电极(4)和沿塑料容器的内壁设置的壳体电极(3),所述底部电极(4)位于塑料容器(5)全部高度一半以下。