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电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化影响浅析

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通过扫描电子显微镜、X射线衍射仪和喇曼谱仪检测铝诱导非晶硅薄膜的场致固相晶化的情况,分析了电场方向对铝诱导非晶硅薄膜固相晶化的影响.

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来源
《韩山师范学院学报》 |2007年第3期|50-54|共5页
作者
陈一匡;
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作者单位

韩山师范学院,物理与电子工程系,广东,潮州,521041;

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正文语种 chi
中图分类 TN304.055;
关键词
铝诱导; 非晶硅薄膜; 电场; 固相晶化;

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