光栅尺标定系统的设计及仿真

摘要

为了提高位移测量系统的测量精度,通过分析双频激光干涉仪与光栅尺的测量原理,并采用模块化设计思想,设计了一种基于双频激光干涉仪的光栅尺标定系统.用Solidworks完成标定系统的三维建模,取标定系统前五阶进行模态分析,根据模态分析结果不断完善标定系统,对最终标定系统进行振动谐波分析.谐波分析结果表明,在一阶共振频率附近,光栅读头与激光干涉仪最大振幅16 nm以下,在其余频段振幅小于10 nm,满足设计要求.