旋转半拋物面镜CL收集与传输效率的理论计算

摘要

介绍SEM中常见的两类阴极荧光(Cathodoluminescence,简称CL)发光模型,给出旋转半抛物面镜CL收集与传输系统的几个基本关系式,着重导出了点光源均匀发光与点光源非均匀发光模型下CL收集与传输效率的理论计算公式。