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二氧化硅微球场发射环境扫描电镜形貌测试条件研究

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摘要

以二氧化硅微球作为研究对象,室温下采用场发射环境扫描电镜(FEI Quanta 200),选用二次电子(SE)成像进行SEM观察.分别考察镀膜处理、加速电压、束斑变化、扫描速度、工作距离等参数对图像质量的影响.

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来源
《广西科学院学报》 |2010年第3期|349-353|共5页
作者
桂柳成; 邹华红; 程蕾; 胡坤;
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作者单位

药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室,广西师范大学化学化工学院,广西桂林,541004;

药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室,广西师范大学化学化工学院,广西桂林,541004;

药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室,广西师范大学化学化工学院,广西桂林,541004;

药用资源化学与药物分子工程教育部重点实验室,广西师范大学化学化工学院,广西桂林,541004;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类半导体化学;
关键词
图像质量; 二氧化硅微球; 镀膜; 加速电压; 束斑变化; 扫描速度; 工作距离;

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