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氧化工艺在真空电弧沉积TiN薄膜中的应用--专业课程与课题相结合的实践

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文章通过氧化工艺对真空电弧沉积TiN薄膜组织与性能的影响这一课题研究,指出在毕业论文的工作中,将专业知识运用到实际课题的研究中,有利于提高学生的综合素质.

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来源
《广东工业大学学报（社会科学版）》 |2003年第z1期|188-189224|共2页
作者
梁仕昌; 曾鹏;
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作者单位

广东工业大学;

广东工业大学;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类其他零件热处理;毕业论文与毕业设计;
关键词
专业课程; 研究课题; 真空电弧沉积; TiN薄膜; 氧化工艺;

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