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吴建业; 李世烨;
中国石化茂名石化分公司 广东茂名525000;
含硅化合物; 石脑油; 乙烯原料; 捕硅剂;
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机译:含硅抗反射涂层形成组合物,含硅抗反射涂层,基材加工中间体和基材加工方法
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