掺粉电解复合抛光工艺试验研究

摘要

微制造是微机电系统的基础,本文提出了一种掺粉电解复合抛光新工艺方法,将微细磨料均匀掺入电解液中,依靠微型高速主轴带动工具超高速旋转搅动磨料,对工件进行“软磨削”去除表面钝化膜,然后通过电解作用实现对工件的抛光.本文介绍了掺粉微细电解复合抛光的加工原理和实验装置,系统研究了掺粉粒度、浓度和电极转速等对抛光质量的影响,同时研究了电源峰值电压、脉冲宽度和占空比等参数对加工的影响,并获得其工艺规律曲线.在上述总结的最佳工艺参数条件下,进行了微细三维结构零件抛光,加工出的微细螺旋轴直径为Φ100μm,表面粗糙度Ra0.02μm的近似镜面效果.