電解研磨/電解エッチング複合プロセスによるアルミニウム表面の微細加工

摘要

近年、金属材料の表面を微細に加工する技術の研究開発が活発に行われている。金属表面に微細な構造を構築し、それをマイクロマシン用微細部品、微小流路および微小反応器などへ応用することが試みられている。従来、金属表面に微細加工を施す方法として、フォトリソグラフィーと化学/電気化学エッチングを組み合わせた手法が多用されているが、この方法は、複雑な形状を有する基板上に構造体を形成することが困難である、多品種·少量の加工技術には不向きである、加工プロセ知多段にわたる、などの問題点を抱えている。このような観点から、発表者らは、レーザー照射と電気化学的な手法を用いた微細加工法の開発に取り組んできた。これまでの研究により、アノード酸化皮膜を化成したアルミニウム試料にレーザー照射を行い、酸化皮膜を局部的に破壊·除去したのち、酢酸/過塩素酸混合溶液（電解研磨溶液）を用いて電解エッチングを行うことにより、極めて平滑な表面を有するバルクマイクロマシニングを実現することに成功しているが、レーザー照射および電解エッチング条件による素地金属加工量·形状の変化は明らかになっていない。