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Si亚微米MOSFET Monte carlo模拟中散射机制的研究

         

摘要

讨论了用Monte carlo法模拟半导Si内电子输运现象的散射机制,探讨并确定自由飞行时间的自散射方法,模拟电子在不同高场下的输运过程,并分析了速度过冲效应产生的原因.

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