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提高方形硅膜压力传感器灵敏度的几个重要措施

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结合扩散硅压阻式压力传感器的研制．根据硅的压阻效应原理，利用方形硅膜的应力分布公式，论述了提高正方形硅膜压阻式压力传感器灵敏度的几个重要措施．

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来源
《福州大学学报：自然科学版》 |1992年第3期|28-31|共4页
作者
冯景星;
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作者单位

福州大学物理系;

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正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
硅膜; 压力传感器; 灵敏度;

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