GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究

俞金玲; 姜伟; 李书平; 刘达艺; 康俊勇

首页> 中文期刊> 《福州大学学报：自然科学版》 >GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究

GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究

开具论文收录证明 >>

文献代查 >>

文献数据库（团队版） >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

采用椭圆偏振光谱法,在1.5~6.5 eV光谱范围研究了纤锌矿结构GaN外延薄膜.通过物理模型建立和光谱拟合得到了GaN外延薄膜的厚度和光学常数.所得厚度值与扫描电子显微镜测量的结果相差仅为0.4%.表明所采用的模型和Cauchy吸收色散表式适用于GaN薄膜.进一步采用四相逐点拟合算法得到更全面更准确的GaN薄膜光学常数.

著录项

来源
《福州大学学报：自然科学版》 |2007年第s1期|P.|共4页
作者
俞金玲; 姜伟; 李书平; 刘达艺; 康俊勇;
展开▼
作者单位

福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系;

福建省半导体材料及应用重点实验室厦门大学物理系;

福建厦门;

福建厦门;

展开▼
原文格式 PDF
正文语种 CHI
中图分类 O484.41;
关键词
椭圆偏振光谱; GaN; 薄膜; 光学常数; 色散模型;

相似文献

中文文献
外文文献
专利

1. 用椭圆偏振光谱法研究取代基对酞菁薄膜光学常数的影响 [J] . 于书坤 ,范昭奇 ,夏道成 . 吉林大学学报（理学版） . 2009,第006期
2. 椭圆偏振法测定在线Low-E玻璃的可见-近红外光学常数与膜厚 [J] . 纪贝 ,黄水平 ,周骏 . 光子学报 . 2015,第5期
3. MathCAD在椭圆偏振仪测定薄膜光学常数中的应用 [J] . 王学华 ,薛亦渝 ,曹宏 . 应用光学 . 2006,第003期
4. 稀土—过渡金属薄膜光学常数和磁光常数的椭圆偏振测量 [J] . 顾培夫 . 薄膜科学与技术 . 1990,第003期
5. 结合椭圆偏振光谱与傅里叶红外光谱的宽禁带半导体薄膜光学特性表征 [J] . 谢灯 ,丘志仁 ,万玲玉 . 光散射学报 . 2016,第003期
6. 椭圆偏振仪测量薄膜光学常数数据处理方法 [C] . 陈星 ,叶兵 . 2009年全国高等学校物理基础课程教育学术研讨会 . 2009
7. 椭圆偏振光谱和磁光谱中新的物理方法和器件研究 [A] . 赵海斌 . 2000

GaN薄膜光学常数的椭圆偏振光谱研究

摘要

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅