AlSb过渡层在生长InAsSb材料中作用的TEM观察

摘要

用TEM观察了InAsSb/A1Sb/GaAs的结构,分析了AlSb过渡层在InAsSb材料生长中的作用,观察到AlSb内位错沿AlSb/GaAs界面垂直延伸约0.25μm。