溶胶—凝胶法制备BaTiO3薄膜的介电性质的研究

摘要

以正丁醇钛和钡为主要原料，采用溶胶－凝胶法在铂基底上制备了ＢａＴｉＯ３薄膜。用ＴＧ－ＤＴＡ和ＸＲＤ分析了该薄膜形成过程和结构。研究了薄膜厚度、温度和频率对薄膜的介电性质的影响。结果表明，在室温，１ｋＨｚ下，薄膜的介电常数ε’为７６０，介电损耗为０．０１７。