恒流法制备图案化的阳极氧化铝模板

摘要

采用紫外线光刻技术在铝片上生成预设图案,用恒流二次氧化法在图案化的铝片上生长AAO,以此模板制备了PS和Cu纳米线阵列.采用扫描电子显微镜(SEM)分析.结果表明,制备的图案是直径5μm的圆形组成,圆形图案中·心之间距离是10μm,每个圆中生长了均匀的AAO,孔径大约为60～80nm.