优化CVI反应器气体流场的可视化研究

摘要

CVI(化学气相浸渗)反应器内气体的输运对基体的沉积速度与沉积质量有重要的影响.用一套结构简单、可操作性强的气体流动可视化设备,对底部进气的等温等压CVI反应器内气体流场进行了模拟研究,得到如下结论:在气体入口处采用涡流器与多孔整流器,能消除中心射流并减小上部回流区域,扩大反应器的有效使用空间;使衬底与气体主流方向成一定的夹角,能有效阻止气体边界层的分离.