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梳状电容微加速度计结构设计和分析

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摘要

阐述了双侧梳状电容微加速度计的基本结构和工作原理,运用了计算机辅助软件对其进行建模和仿真,借助该模型分析了在1g加速下梁的长度变化对系统灵敏度的影响和系统对正弦激脉冲输入信号的响应特性,为加速度计的结构优化设计提供了依据.

著录项

来源
《探测与控制学报》 |2004年第4期|21-24|共4页
作者
黄书琴; 郝永平; 张德智; 王健;
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作者单位

沈阳理工大学,CAD/CAM技术研究与开发中心,辽宁,沈阳,110168;

沈阳理工大学,CAD/CAM技术研究与开发中心,辽宁,沈阳,110168;

沈阳理工大学装备工程系,辽宁,沈阳,110168;

沈阳理工大学装备工程系,辽宁,沈阳,110168;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;V492.322;
关键词
梳齿状电容微加速度计; 灵敏度; 建模和仿真;

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