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郝永平; 李大顺; 刘双杰;
沈阳理工大学装备工程学院,辽宁沈阳110159;
沈阳理工大学机械工程学院,辽宁沈阳110159;
微机电系统; 闭锁; 安全系统;
机译:用于微机电系统和微光电机电系统应用的光激活微组件
机译:基于微光学机电系统和微焦焦X射线管的无掩模X射线光刻
机译:微尺度的力学和错位结构:离散位错动力学模拟的错位乘法机制见解
机译:基于物理的,数据驱动的微环境空气质量影响从固定和移动来源的影响
机译:从基于微机电系统的基于微机电系统的芯片移除的方法用于原位透射电子显微镜
机译:基于聚合物水凝胶的微级致动器的机电系统
机译:基于微机电系统(mEms)的微毛细管泵浦回路用于芯片级温度控制。
机译:使用基于微机电系统(MEMS)的反射器的微聚光太阳能阵列
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