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微透镜阵列的离子束溅射刻蚀研究

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微透镜阵列的离子束溅射刻蚀研究张新宇易新建赵兴荣麦志洪何苗（华中理工大学光电子工程系武汉４３００７４）刘鲁勤（航天部二院２５所北京１００５８４）利用扫描电子显微镜（ＳＥＭ）和表面探针测试，分析了采用离子束溅射刻蚀技术所制作的石英微透镜阵列器件的表面微...

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来源
《大连理工大学学报》|1997年第S2期|P.129-129|共1页
作者
张新宇; 易新建; 赵兴荣; 麦志洪; 何苗; 刘鲁勤;
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作者单位

华中理工大学光电子工程系;

航天部二院２５所;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类应用;
关键词
离子束; 石英微透镜; 溅射; 阵列器件; 表面形貌; 扫描电子显微镜; 探针测试; 表面微观形貌; 光致抗蚀剂; 光电子;
入库时间 2022-08-19 21:03:27

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