铁离子注入单晶铜引发亚结构粗态变化的研究

摘要

用加速电压５０ｋＶ、剂量为４×１０＾１７／ｃｍ＾２的铁离主入单晶铜中，利用透射电子显微镜弱束成像技术研究了被注入材料的横截面样品，发现离子辐照引发被注入材料亚结构变化的深度远大于离子本身注入的深度，铁离子注入单晶铜中位错密度随注入深度的变化有两个峰值出现，其亚结构为多种位错组成的复杂位错组态，这种亚结构会使被注入材料具有相当于加工硬化的效果。探讨了离子注入材料中由辐照引发的加工硬化现象，即所谓的“