基于神经网络的应力盘数据驱动建模研究

摘要

针对光学抛光加工的计算机控制问题,进行大口径高陡度非球面镜光学表面抛光加工过程中的应力盘面形动态变化研究.提出一套应力盘抛光加工计算机控制系统,建立反映应力盘面形的RBF神经网络模型,从微位移传感器阵列获取的测量数据用于训练神经网络模型.仿真实验表明,相对于传统的泽尼克多项式面形表示法,该模型能精确有效地反映应力盘表面形状的变化过程.