基于神经网络的抛光应力盘智能控制器

摘要

提出了基于神经网络的光学抛光应力盘面形表征模型的光学抛光应力盘面型控制策略,研究在非球面光学镜面抛光过程中应力盘面形的变化,分析应力盘驱动力和面形之间的关系,建立基于模糊神经网络的面形控制系统。并通过微位移传感器阵列检测获得形数据来直接训练神经网络模型,建立应力盘驱动力与应力盘面面形变化之间关系的模型。实验表明,该控制器模型可以根据给定的应力盘面形准确输出对应驱动力的组合,并提高形变精度。