微机械阵列滤波传声器的动态特性

摘要

对近年来硅微机械加工技术 (MEMS)工艺研制的几种微传声器进行了论述 ,对其优缺点进行分析和研究表明 :这些传统的传声器主要起声电转换的作用 ,对噪声信号的滤波处理是由专用滤波电路完成 ,或者用数字滤波进行处理。为此提出了一种硅微阵列滤波器传声器 ,在转换信号的同时实现滤波。讨论了阻尼和硅簧片根数对动态特性的影响 ,并由此得出 :阻尼的增加会降低传声器的灵敏度 ,簧片根数的增加可以改善灵敏度曲线。而且在获取噪声信号的同时能够实现滤波。