声信号检测微机械阵列传声器滤波特性的研究

摘要

在传统的声信号检测中,声电转换由传声器完成,滤波由专用电子滤波器完成.近年来,随着硅微机电系统(MEMS)技术的发展,已经开始把该技术用于微传声器的制造.本文在研究了当前几种硅微机械传声器的基础上,提出了一种全新的微机械阵列传声器,该装置在转换信号的同时实现滤波,并进一步讨论了阻尼和硅簧片根数对滤波特性的影响,阻尼的增加会降低该滤波器的灵敏度,簧片根数的增加则可以改善滤波效果.对硅微机械阵列传声器的研究,利于传感、滤波和分析一体化的智能声级计的实现.