电极绝缘的压控型四轴静电悬浮支承技术

摘要

基于经过绝缘化处理的支承电极，提出了压控型四轴静电悬浮支承系统的技术方案。首先给出了支承系统的位移测量电路，介绍了在极限工作条件下可以将执行器件功耗降低70%以上的低功耗的高压放大器。推导了电极绝缘条件下的静电力模型，并引入加权系数来表征电极覆盖绝缘膜对静电悬浮力的影响。根据建立的静电力模型设计了控制器并进行了悬浮实验。实验结果表明，支承系统实现了转子的稳定悬浮，说明在合理量化电极绝缘对测量系统和静电力模型的影响条件下，电极绝缘的静电悬浮支承系统可以实现正常工作。