大面积EBSD分析中的标定准确性探究

摘要

在低倍率下对样品进行大面积EBSD测试时,常发现边缘区域标定率较低.为探究大面积EBSD分析中标定率低的影响因素,本文在100倍下选取同一采集区域,将其移至视野不同位置进行EBSD数据采集,结果表明,在测试参数不变的情况下,同一采集区域在不同位置时的标定率差别很大.甚至同一晶粒在不同位置采集时标定的取向也存在差异.分析发现,标定结果存在差异的主要原因是低倍率下,在视野中心电子束处于聚焦状态,而在边缘位置电子束处于散焦状态.电子束散焦时,束斑尺寸增大,激发的背散射电子在射出晶粒尺寸较小的样品表面时,在不同晶粒的不同晶面同时发生衍射,衍射花样会相互干扰,因而导致EBSD花样模糊、宽化、重叠,标定率变差.同时,较大的电子束束斑直径会降低EBSD空间分辨率,因而难以准确反映晶粒取向的细微变化.