扫描电镜图像锯齿形毛刺的抑制与消除

摘要

环境中的振动、电场与磁场等干扰常使扫描电镜图像产生锯齿形毛刺.本文研究了锯齿形毛刺的规律,从调节扫描速度与扫描角度两个方面对其进行了抑制与消除.研究发现,锯齿形毛刺对图像的影响程度随着工作距离与放大倍数的增大而增大,而扫描速度不同时,锯齿图形的波长不同、波幅一致;锯齿图形由电子束扫描与样品振动共同引起,当扫描速度为振动半周期的整数倍时可消除锯齿,据此理论在不同扫描速度下获取图像发现扫描速度为18.8μs及其整数倍时,可消除本台电镜图像上的锯齿形毛刺;通过调节扫描角度,使长条形结构的长度方向与扫描方向水平时也可对锯齿进行抑制.本研究可为电镜工作者获取高质量图像提供一定参考.