日立S-4800场发射扫描电镜常见故障的维修案例分析

摘要

扫描电子显微镜已经广泛地应用于科研和教学领域,它在诸多学科领域,如材料、机械、冶金、能源、化工和环境等,都发挥着非常重要的作用,对扫描电子显微镜常见故障进行分析总结,对科研人员具有重要的参考价值.本文介绍了日立S-4800型场发射扫描电子显微镜经常发生的几个故障问题,详细分析了故障产生的原因,同时结合实际应用经验给出了解决方法,希望对同行人员具有参考价值.