日立X-650型扫描电镜故障维修一例

摘要

我单位自1982年购进日本日立公司X-650型扫描电子显微镜，至今已工作24年，该仪器使用率很高，在我校的教学和科研中发挥了重要作用。在使用过程中，仪器先后发生了一些故障，均由我室技术人员自行解决。现将最近出现的一次故障维修经验总结如下，以供拥有相同型号电镜用户参考。