高分辨率扫描类电镜图像处理和分析测量系统

摘要

我们研制成功一套高分辨率的扫描类电镜用的图像处理系统,可直接连接到任一台扫描电镜(SEM)、电子探针(EPMA)、透射电镜(TEM)的扫描附件和扫描隧道显微镜(STM)等扫描类电镜(简称电镜)上采集电镜图像信号和样品成份的X射线面分布像的信号存入计算机。经系统的硬件软件作图像处理后,图像的清晰度,信噪比可得到提高(如图1所示)。本系统的图像分辨率为1024×1024像素点阵,具有256个灰度级的高质量电镜图像。