高Tc超导薄膜和氧化物多层膜的激光分子束外延研究

摘要

本文介绍用激光光子束外延（Ｌ－ＭＢＥ）方法，在高真空条件下外延生长ＹＢａ２Ｃｕ３Ｏ７－δ超导薄膜和ＢａＴｉＯ３铁电薄膜以及多层膜的实验结果。