离子注入过程中银纳晶的原位透射电镜研究

摘要

@@ 离子注入法已被广泛地用来改善玻璃的物理特性,如折射率、光吸收性能等[1].金属离子注入玻璃后形成纳米晶体,它们的大小和密度在衬底的不同深度分布不同,这些分布对注入条件非常敏感,而且可以通过热处理加以改善.纳米晶体决定吸收带的光学特性,比如光学吸收带随纳米晶体大小的增加而产生红移现象.传统的理论将吸收波峰与纳晶的大小联系起来,通过吸收谱的特征来推断纳晶的大小,但这一理论只能给出一个平均直径.为了获得纳米晶体的大小、形状、密度和注入条件的关系,作者用透射电镜原位观察Ag注入非晶SiO2过程中银纳晶的形成和演化,通过计算机图像处理技术获得纳晶的密度和大小的分布规律.