用扫描电镜制备高性能AFM针尖

摘要

@@ 随着各种纳米材料研究的不断深入,扫描探针显微镜(SPM)已在这些领域中获得广泛应用,并迅速成为表征纳米材料形态及物性的重要手段.用SPM对材料进行表征时,对结果起至关重要作用的是SPM探针的质量及性质.以原子力显微镜(AFM)为例,在对各种材料作表征时,要求针尖曲率半径小、硬度强,在做电学性质测试时,还要求针尖有良好的导电性.但商用的AFM针尖是用Si3N4或Si通过化学腐蚀等方法制备的,因此针尖导电性不好,而且为了保证其硬度,尖体不可能太细,这些问题无疑对AFM的应用带来限制,比如:用AFM对表面起伏较大的样品(如:垂直的凹槽或凸起)做形貌观察时,获得的图像会产生失真;另外由于Si3N4针尖不导电,无法用于对样品电学性质做测量,而Si针尖是半导体,这会给电学测量结果的分析带来不便.