单一颗粒物扫描电镜能谱定量分析方法的研究

摘要

扫描电镜能谱（SEM-EDS）和电子探针（EPMA）分析技术在金属材料、公安司法鉴定、环境分析化学等领域有广泛应用。其主要测试对象有块状金属、块状矿物，颗粒物和金属薄膜或薄层材料等样品。不同样品的定量分析方法及计算程序在扫描电镜能谱和电子探针分析技术中占有重要地位。对于块状金属、块状矿物以及薄层材料样品，各仪器厂商可提供比较成熟的定量分析软件，计算结果能满足实际工作需要。但对于颗粒物样品，各商业仪器没有提供适用的计算程序。