铌酸盐材料的透射EDS定量分析及自校正方法

摘要

由于在TEM中薄试样厚度测量有难度,致使x射线能量色散谱(EDS)定量分析的相关校正难以有效进行.厚度吸收效应的自校正方法,可以不需要测量试样厚度也能进行EDS定量校正.该方法要求在谱线中包含同一元素两个不同线系,其强度比与理论值的差异就会体现出厚度效应,从而可以"间接"开展吸收的定量校正,无需通过其它途径测量试样厚度.本文通过具有固定组分的铌酸钡钠微晶验证该方法,发现铌的自校正效应可较有效地用于校正重元素钡的含量,而对于轻元素钠的校正还需考虑其它误差的作用.同样方法定量分析相同结构的铌酸锶钡织构化陶瓷,可以更为准确地测定和判定晶粒内部微区的化学组分,从而为进一步开展陶瓷材料内部微观"扩散相图"的研究工作提供必要的微分析技术基础.